脉冲直流电源系统

Pulsed DC Systems

脉冲直流电源系统

提高沉积率，改善薄膜平整度

利用 Advanced Energy 功能全面的脉冲直流电源系统拓展工艺创新。最大限度减少电弧，提高沉积率，改善薄膜平整度和堆积密度。

脉冲直流的优势

Ascent AP Plasma Power Generators

Ascent AP 系列

面向单靶磁控管和双靶磁控管溅射的创新功率控制

Pinnacle Plus Plasma Power Generators

Pinnacle Plus+

久经工艺验证的脉冲直流电源，适用于单磁控管反应溅射电介质薄膜

Plasma Power Generator | DC Power Systems

Arc-Bias Solvix

可将阴极电弧工艺的精度和生产率提升到新高度的电弧偏压解决方案

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