等离子体发生器

PEII 系列

低频系列具有增强电弧控制功能和内部负载匹配,适用于 40 kHz 反应溅射应用

PEII 系列电源是双磁控管溅射的可靠标准,作为有效的真空清洁工具,可用于多种 PECVD 应用。

  • 可靠的水冷设计
  • 可严格调节功率、电压或电流输出,测量精度为 1%
  • 兼容可编程逻辑控制器 (PLC)
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

低频 PEII 系列提供 40 kHz 脉冲宽度调制 (PWM)。它具有先进的电弧控制功能和内部负载匹配,通过组合多个机组,无需变压器或调谐器等外部硬件,输出功率即可达到 60 kW。这款电源还提供两种不同的电弧处理电路,浮动输出可在任何一侧接地。PEII 电源采用水冷设计,符合 CE 标准,有多种附件可供选配。

优点

  • 可靠性久经验证,可最大限度提高系统利用率
  • 精确调节功率、电压或电流
  • 可达到最高的灵活性和模块化 
  • 增强电弧控制 
  • 宽输出范围

特点

  • 5 kW 和 10 kW 可选(针对最高 60 kW 的主/从配置)
  • 内部负载匹配(10:1 阻抗范围)
  • 两个不同的电弧处理电路
  • 高效紧凑的水冷设计
  • 符合 CE 标准
  • 兼容 Advanced Energy LMII 10K 匹配网络,可在更高电压下操作
  • 电压范围

    300 至 950 V,通过七个可选择抽头实现

  • 功率

    5 kW 和 10 kW 型号(针对更高功率的主/从配置)

  • 输出频率

    40 kHz

  • 冷却

    水冷

  • 电弧管理

    同时检测电压和电流

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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