等离子体发生器
PEII 系列
低频系列具有增强电弧控制功能和内部负载匹配，适用于 40 kHz 反应溅射应用
PEII 系列电源是双磁控管溅射的可靠标准，作为有效的真空清洁工具，可用于多种 PECVD 应用。
- 可靠的水冷设计
- 可严格调节功率、电压或电流输出，测量精度为 1%
- 兼容可编程逻辑控制器 (PLC)
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
低频 PEII 系列提供 40 kHz 脉冲宽度调制 (PWM)。它具有先进的电弧控制功能和内部负载匹配，通过组合多个机组，无需变压器或调谐器等外部硬件，输出功率即可达到 60 kW。这款电源还提供两种不同的电弧处理电路，浮动输出可在任何一侧接地。PEII 电源采用水冷设计，符合 CE 标准，有多种附件可供选配。
优点
- 可靠性久经验证，可最大限度提高系统利用率
- 精确调节功率、电压或电流
- 可达到最高的灵活性和模块化
- 增强电弧控制
- 宽输出范围
特点
- 5 kW 和 10 kW 可选（针对最高 60 kW 的主/从配置）
- 内部负载匹配（10:1 阻抗范围）
- 两个不同的电弧处理电路
- 高效紧凑的水冷设计
- 符合 CE 标准
- 兼容 Advanced Energy LMII 10K 匹配网络，可在更高电压下操作
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电压范围
300 至 950 V，通过七个可选择抽头实现
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功率
5 kW 和 10 kW 型号（针对更高功率的主/从配置）
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输出频率
40 kHz
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冷却
水冷
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电弧管理
同时检测电压和电流
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
在产品生命周期的每个阶段提供世界一流的技术服务支持，从启动到长期运行，最大限度提高晶圆厂生产力和设备投资回报率。我们提供的服务是基于三十多年的精密电源和应用专业知识。
应用支持和咨询
在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下，可以加快设备安装调试和工艺流程，或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。
保修
减少额外维护成本，进一步保护成本效益。Advanced Energy 提供整体的延长保修服务。