等离子体发生器

Ascent MS

多输出电源系统,适用于太阳能光伏制造中的多腔室功率输出

Ascent MS 同一个单个装置可支持多达 5 个独立的 PERC 中PECVD 的沉积工艺腔室,从而优化功率输出,实现独立编程,简化沉积设备设计,帮助您降低资本支出并提高可靠性。

  • 每 5 个 PERC 中 PECVD 工艺的腔室只需一套电源系统
  • 每个腔室都有独立的工艺参数
  • 简化基础机构,降低成本,提高可靠性
  • 概述
  • 技术参数
  • 服务和支持

概述

Ascent® MS 是一款多输出电源系统,用于支持光伏太阳能电池 PERC 的 PECVD 工艺。Ascent MS 可支持单个装置多达 5 个独立腔室,使太阳能光伏设备制造商能够开发高性价比的系统。与其他类似解决方案相比,它的优势是只需要较少的基础电气和机械结构。这款电源系统采用快速连接功率 I/O,最大限度减少互连,可在优化功率输出的同时提高镀膜机的安装速度和可靠性,降低每台镀膜机的成本。Ascent MS 专为满足当今太阳能光伏制造市场的需求而设计,可实现业内最低的系统和基础结构成本。

优点

  • 采用模块化电源连接器实现轨道镀膜机的快速安装,减少互连并简化基础结构
  • 降低电气和机械基础结构要求,开发高性价比的系统
  • 提高 PERC 中的 PECVD 沉积工艺的可靠性
  • 同一单个装置可支持多达 5 个独立腔室,简化沉积设备设计

特点

  • 用于多达 5 个腔室的单点通信、水、I/O 和交流电源输入
  • 每个输出都有独立的开/关时间、电弧参数和设定值
  • 每个电源系统多达 5 个输出
  • 单独启用的输出
  • 模块化电源连接器

解决方案

  • 功率

    Ascent MS15: 15 kW
    Ascent MS20: 20 kW
    Ascent MS30: 30 kW

  • 输出

    2 至 5

  • 输出频率

    40 kHz

  • 功率脉冲时间

    Ton:1 至 10 ms

    Toff:50 至 1000 ms

  • 功率脉冲占空比

    最高 10%

  • 通信

    Profibus、RS-232、以太网、EtherCAT

  • 冷却

    水冷/风冷

  • 系统高度

    12U

全球服务和支持

在产品生命周期的每个阶段提供世界一流的技术服务支持,从启动到长期运行,最大限度提高晶圆厂生产力和设备投资回报率。我们提供的服务是基于三十多年的精密电源和应用专业知识。

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