等离子体发生器

Ascent DMS

先进的双磁控管溅射附件

久经现场验证的解决方案,适合任何双磁控管溅射应用,另有一系列额外功能,可推动先进工艺创新。

  • 通过先进的电弧管理,以更稳定的工艺实现更高的沉积率
  • 通过可变的频率和占空比微调工艺
  • 可根据系统要求定制:30、40 和 60 kW 机组,最高可配置为 180 kW
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

Ascent® DMS 系列可提供卓越的功率输送,并控制双磁控靶溅射,从而实现镀膜特性的精确调谐。Ascent DMS 凭借可供选择的频率、调节模式和占空比,低储能和简化、模块化的系统配置,成为新一代技术中的佼佼者。它集高性价比、扩展灵活和多功能等特点于一身,可最大程度降低复杂度、提高产品质量、增加产能,从而实现先进的制程创新。

Ascent DMS MF-120 是面向标准阴极的高性价比中频电源,同时还具有双极性脉冲技术的诸多优势。

优点

  • 提升薄膜层价值:制程可重复,可定制的沉积膜
  • 降低拥有成本,提高薄膜产能
  • 更小的电弧损害,更高的功率输出
  • 易于扩展、集成和技术支持
  • 采用模块化设计,只需购买您所需的功能,同时支持未来的功能扩展

特点

  • 模块化和可扩展(40 kW、60 kW 和 120 kW 型号,最高可配置为 180 kW 的功率输出)
  • 频率可选(500 Hz 至 50 kHz)
  • 占空比可调节,可独立调节每个磁控管的功率比
  • 通过电弧缓解分层方法实现先进的工艺管理
  • CEX(相位同步)
  • 输入功率

    Ascent DMS 40、60 KW

    85 至 264 VAC,单 

    Ascent DMS 120 KW

    85 至 264 VAC,单

  • 输出电压

    Ascent DMS 40、60 KW

    最高 1000 V

    Ascent DMS 120 KW

    最高 1000 V

  • 输出电流

    Ascent DMS 40、60 KW

    最高 150 A

    Ascent DMS 120 KW

    最高 400 A (rms)

  • 重量

    Ascent DMS 40、60 KW

    约 61.5 kg (136 lb)

    Ascent DMS 120 KW

    约 100 kg (220 lb)

  • 安装

    Ascent DMS 40、60 KW

    4.26 cm (19 in),机架安装,6U 高度

    Ascent DMS 120 KW

    4.26 cm (19 in),机架安装,10U 高度

  • 冷却空气温度

    Ascent DMS 120 KW

    不适用

    Ascent DMS 40、60 KW

    最高 40°C (104°F)

  • 冷却水温度

    Ascent DMS 40、60 KW

    最高 35°C (95°F)

    Ascent DMS 120 KW

    最高 40°C (104°F)

  • 合规

    Ascent DMS 40、60 KW

    欧盟 RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47

    Ascent DMS 120 KW

    欧盟 RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

全球服务和支持

在产品生命周期的每个阶段提供世界一流的技术服务支持,从启动到长期运行,最大限度提高晶圆厂生产力和设备投资回报率。我们提供的服务是基于三十多年的精密电源和应用专业知识。

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应用支持和咨询

在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下,可以加快设备安装调试和工艺流程,或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。

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