等离子体发生器
Ascent DMS
先进的双磁控管溅射附件
久经现场验证的解决方案，适合任何双磁控管溅射应用，另有一系列额外功能，可推动先进工艺创新。
- 通过先进的电弧管理，以更稳定的工艺实现更高的沉积率
- 通过可变的频率和占空比微调工艺
- 可根据系统要求定制：30、40 和 60 kW 机组，最高可配置为 180 kW
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
Ascent® DMS 系列可提供卓越的功率输送，并控制双磁控靶溅射，从而实现镀膜特性的精确调谐。Ascent DMS 凭借可供选择的频率、调节模式和占空比，低储能和简化、模块化的系统配置，成为新一代技术中的佼佼者。它集高性价比、扩展灵活和多功能等特点于一身，可最大程度降低复杂度、提高产品质量、增加产能，从而实现先进的制程创新。
Ascent DMS MF-120 是面向标准阴极的高性价比中频电源，同时还具有双极性脉冲技术的诸多优势。
优点
- 提升薄膜层价值：制程可重复，可定制的沉积膜
- 降低拥有成本，提高薄膜产能
- 更小的电弧损害，更高的功率输出
- 易于扩展、集成和技术支持
- 采用模块化设计，只需购买您所需的功能，同时支持未来的功能扩展
特点
- 模块化和可扩展（40 kW、60 kW 和 120 kW 型号，最高可配置为 180 kW 的功率输出）
- 频率可选（500 Hz 至 50 kHz）
- 占空比可调节，可独立调节每个磁控管的功率比
- 通过电弧缓解分层方法实现先进的工艺管理
- CEX（相位同步）
-
输入功率
Ascent DMS 40、60 KW
85 至 264 VAC，单
Ascent DMS 120 KW
85 至 264 VAC，单
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输出电压
Ascent DMS 40、60 KW
最高 1000 V
Ascent DMS 120 KW
最高 1000 V
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输出电流
Ascent DMS 40、60 KW
最高 150 A
Ascent DMS 120 KW
最高 400 A (rms)
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重量
Ascent DMS 40、60 KW
约 61.5 kg (136 lb)
Ascent DMS 120 KW
约 100 kg (220 lb)
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安装
Ascent DMS 40、60 KW
4.26 cm (19 in)，机架安装，6U 高度
Ascent DMS 120 KW
4.26 cm (19 in)，机架安装，10U 高度
-
冷却空气温度
Ascent DMS 120 KW
不适用
Ascent DMS 40、60 KW
最高 40°C (104°F)
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冷却水温度
Ascent DMS 40、60 KW
最高 35°C (95°F)
Ascent DMS 120 KW
最高 40°C (104°F)
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合规
Ascent DMS 40、60 KW
欧盟 RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47
Ascent DMS 120 KW
欧盟 RoHS、CE、NRTL、SEMI S2、SEMI F47
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。
全球服务和支持
在产品生命周期的每个阶段提供世界一流的技术服务支持，从启动到长期运行，最大限度提高晶圆厂生产力和设备投资回报率。我们提供的服务是基于三十多年的精密电源和应用专业知识。
应用支持和咨询
在 Advanced Energy 专业技术顾问和工程人员的帮助下，可以加快设备安装调试和工艺流程，或是帮助客户解决具体应用问题。从现场审查、分析和咨询中受益。
保修
减少额外维护成本，进一步保护成本效益。Advanced Energy 提供整体的延长保修服务。