等离子体发生器
MDX 系列
MDX 系列是一款小巧经济的电源，可实现低功率磁控溅射
作为一款重载工业设备，MDX 系列主要用于需要实现可靠、精密电源输出的低功率应用。
- 提供 500 W、1 kW 和 1.5 kW 等型号
- 低存储能量，优异的工艺效果
- 由 Advanced Energy 的全球售后服务团队提供支持
- 概述
- 技术参数
- 文件
- 服务和支持
概述
精密的调节、卓越的灭弧性能和低储能输出，使 MDX 系列直流电源成为行业领先者。这些可靠耐用的电源适用于在真空环境中持续高强度的，普遍用作直流磁控溅射驱动。它们还提供精密调节，作为 RF 溅射和蚀刻系统的偏压电源。该系列电源采用紧凑型设计，是实验室系统的首选。
优点
- 精密调节
- 提高良品率
- 缩短靶标烧机时间
- 高可靠性
- 易于维护和更换
特点
- 低储能输出，灭弧时间可调
- 低纹波
- 紧凑型设计
- 电压、电流和功率调节模式
- 前面板和模拟接口控制
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Power
500, 1000, and 1500 W
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Voltage
750, 1000, or 1200 VDC
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Cooling
Air
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Size
½ rack convenience with 1U (500 W) and 2U (1000 W/1500 W) height
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AC Input
220 and 115 VAC models available
规格如有更改，恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。