等离子体发生器

MDX 系列

MDX 系列是一款小巧经济的电源,可实现低功率磁控溅射

作为一款重载工业设备,MDX 系列主要用于需要实现可靠、精密电源输出的低功率应用。

  • 提供 500 W、1 kW 和 1.5 kW 等型号
  • 低存储能量,优异的工艺效果
  • 由 Advanced Energy 的全球售后服务团队提供支持
  • 概述
  • 技术参数
  • 文件
  • 服务和支持

概述

精密的调节、卓越的灭弧性能和低储能输出,使 MDX 系列直流电源成为行业领先者。这些可靠耐用的电源适用于在真空环境中持续高强度的,普遍用作直流磁控溅射驱动。它们还提供精密调节,作为 RF 溅射和蚀刻系统的偏压电源。该系列电源采用紧凑型设计,是实验室系统的首选。

优点

  • 精密调节
  • 提高良品率
  • 缩短靶标烧机时间
  • 高可靠性
  • 易于维护和更换

特点

  • 低储能输出,灭弧时间可调
  • 低纹波
  • 紧凑型设计
  • 电压、电流和功率调节模式
  • 前面板和模拟接口控制
  • Power

    500, 1000, and 1500 W

  • Voltage

    750, 1000, or 1200 VDC

  • Cooling

    Air

  • Size

    ½ rack convenience with 1U (500 W) and 2U (1000 W/1500 W) height

  • AC Input

    220 and 115 VAC models available

规格如有更改,恕不另行通知。并非所有型号和配置都具有所有选配选项和附件。所列尺寸一般仅参考标准配置和模块主体。请向销售代表确认技术规格和定制要求。Advanced Energy 对错误或遗漏概不负责。

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