Halbleiter
Halbleiter
Fortschrittliche Lösungen für die hochpräzise Temperaturmessung in der Halbleiterindustrie
Wir wissen, dass Temperatur beim Einsatz von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen eine entscheidende Rolle spielt. Advanced Energy verfügt über weitreichende Erfahrung in der Halbleiterindustrie. Daher verstehen wir gut, welche Herausforderung die Temperaturregelung für Sie darstellt. Wir bieten berührungslose und kontaktbasierte Optionen sowie unsere faseroptischen Temperatursensoren (FOT) der Produktlinie Luxtron®. Sie ermöglichen die Temperaturmessung in RF-, Plasma-, Hochspannungs- und Induktionssystem-Umgebungen. Advanced Energy bietet hervorragende FOT-Überwachung von elektrostatischen Chucks in Ätz- und Wafer-Herstellungsanlagen sowie kundenspezifisch anpassbare Lösungen sowohl für MOCVD-Verfahren (metallorganische chemische Gasphasenabscheidung, z. B. zur Produktion von LED-Chips) als auch Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Anwendungen.
Ihre Herausforderung
Die Temperaturmessung ist entscheidend für den effizienten Betrieb von Halbleiteranlagen. Sie brauchen hochpräzise und geräuscharme Lösungen mit verschiedenen Temperaturbereichen für Ätz- und Wafer-Herstellungsverfahren. Zur Überwachung von schnellen Rampenbedingungen sind höhere Abtastraten erforderlich und Zuverlässigkeit ist maßgeblich zur Reduzierung der Ausfallraten.
Während der Materialabscheidung muss die Temperaturmessung äußerst präzise und unempfindlich gegen Plasmastörungen sein, damit die maximale Genauigkeit erzielt wird. MOCVD-Verfahren (metallorganische chemische Gasphasenabscheidung) sowie Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Anwendungen erfordern ebenfalls hochpräzise Wafer-Temperatursteuerung. Daher ist die Temperaturmessung unter Verwendung von Suszeptoren nicht ausreichend.
Unsere Lösung
Ätz- und Waferprozesse
Advanced Energy ist ein führender Anbieter von Produkten für die Temperaturüberwachung von elektrostatischen Chucks in Ätz-und Wafer-Herstellungsanlagen. Wir waren wegweisend bei der Einführung der faseroptischen Temperaturmessung (FOT). Diese als Fluoroptic® bekannte Technologie kommt in der Produktreihe Luxtron® von Advanced Energy zum Einsatz. Sie beruht auf Phosphor-Fluoreszenz zur genauen Messung der Temperatur in RF-, Plasma-, Hochspannungs- und Induktionssystem-Umgebungen. Unsere geräuscharmen Lösungen ermöglichen die Genauigkeit, hohe Messrate und Temperaturbereiche, die Sie brauchen.
MOCVD und MBE
Unsere Pyrometer UV 400 ermöglichen die Messung der wahren Temperatur von Wafern und strukturierten Saphirsubstraten (Patterned Sapphire Substrate – PSS), steigern den Ertrag und können Aufschluss über das Wellenlängenverhältnis geben. Sie sind die ideale Lösung für die Herstellung von LED-Chips.
