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Temperaturmessung
UV 400 und UVR 400
Echte Messung der Oberflächentemperatur und des Reflexionsvermögens von Wafern für GaN-basierte Epitaxie, 650 bis 1300°C
Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen direkt die Waferoberflächentemperatur anstelle der herkömmlichen Suszeptor-/Taschentemperatur.
- Ein weiter Temperaturbereich (650 bis 1300°C) ermöglicht die Abdeckung sowohl des Hauptpufferwachstums als auch des MQW-Wachstums.
- Messung der Abscheidungsdicke mit dem zusätzlichen Reflektometer bei 635 nm am UVR 400
- Einstellbarer Emissionsgrad, Transmissionsgrad und Teilmessbereich
- Übersicht
- Technische Daten
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- Zubehör
- Service & Support
Übersicht
Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen die Oberflächentemperatur des Wafers direkt. Dieses verbesserte Verfahren ermöglicht eine genauere Steuerung der Wafertemperatur, was zu einer verbesserten Ausbeute führt.
Das UVR 400 enthält ein zusätzliches Reflektometer bei 635 nm mit einer Messgeschwindigkeit von 0,5 kHz. Damit lässt sich die Messung der Abscheidungsdicke aktivieren.
Diese Systeme setzen einen neuen Standard für LED-Produktionsprozesse. Die Ergebnisse zeigen eine zuverlässige Korrelation zwischen Prozesstemperatur und Wellenlänge des Endprodukts.
Vorteile
- Verbesserte Ausbeute durch genaue Messung der Oberflächentemperatur von Wafern
- Direkte Temperaturmessung an der GaN-Schicht mit UV-Wellenlängengerät
- Erfassung der Reflexionsmessung in Echtzeit mit einer schnell pulsierenden Lichtquelle
- Vermeidung von Rückstandstemperaturschwankungen, die bei NIR-Pyrometern mit Emissionsgradkompensation auftreten
- Vermeidung schiefer Daten aufgrund einer verzögerten Probenahme (kein Ein- und Ausschalten des Auslösesignals)
Leistungsmerkmale
- Zuverlässige Wafer-Temperatur mit PL-Wellenlängen-Korrelation
- Analogausgang und RS485-Schnittstelle mit UPP-Protokoll
- Einstellbarer Teilmessbereich innerhalb des Temperaturbereichs
- Gerät widersteht Stickstoffatmosphäre und Vakuum (< 10 mbar)
- Komplettlösung zur Kontrolle der Reaktortemperatur bei Verwendung mit dem PhotriX-Pyrometer mit konzentrischem Lichtleiter
Ausgewählte Spezifikationen werden unten angezeigt. Weitere Spezifikationen finden Sie im Produktdatenblatt.
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Temperaturbereich
UV 400 and UVR 400
650 bis 1300°C
Der Teilmessbereich ist beliebig einstellbar innerhalb des Grundmessbereichs mit einem Mindestmessbereichsumfang von 51°C -
Messung
Spektralbereich
383 bis 410 nm (10% der Werte)
Messunsicherheit
< 1000°C: 3°C
> 1000°C: 0,3% vom Messwert
Bei ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C
Das Pyrometer muss 30 Minuten in Betrieb sein, bevor diese Werte gültig sind.Wiederholbarkeit
0.1% oder + 0.1°C
Bei ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°CErfassungszeit t90
Integrationszeit: Mindestens 8 ms
Emissionsgrad ε
0,100 bis 1,000 in Schritten von 1/1000
Transmissionsgrad τ
0,100 bis 1,000 in Schritten von 1/1000
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Optik
Optik
Feste Optiken
Distanzverhältnis
Mindestens 8:1 (9,8 mm)
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Schnittstellen und Kommunikation
Anschluss
M12-Steckverbinder (8-polig) für die Spannungsversorgung, RS485 und Analogausgang der Messtemperatur
M12-Stecker (4-polig) für den Analogausgang der RemissionsmessungParameter
Über Schnittstelle veränderbar: Emissionsgrad ε, Transmissionsgrad τ, Einstellzeit t90, Löschzeit tcl, Analogausgang 0 bis 20 oder 4 bis 20 mA (umschaltbar), Teilbereich RS485: Adresse, Baudrate, Wartezeit tW
Ablesbar über Schnittstelle: Interne Detektortemperatur in 0,1 ° C
Analogausgang
0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA, linear (einstellbar über die digitale Schnittstelle)
Digital-Schnittstelle
RS485 adressierbar (halbduplex)
Baudrate 1200 bis 38400 -
Umgebungsbedingungen
Schutzart
IP 40 IEC 60529
Vakuum- und Gasbedingungen
Das Gerät hält einer Stickstoffatmosphäre und einem Vakuum (<10 mbar) stand. Das Gehäuse hat eine Luftöffnung.
Betriebsposition
Beliebig
Umgebungstemperatur
10 bis 38°C am Gehäuse
Lagertemperatur
-20 bis 50°C
Zulässige Luftfeuchtigkeit
Keine kondensierenden Bedingungen
Gewicht
2,5 kg (Messinstrument ohne Adapter)
Gehäuse
Schwarz eloxiertes Aluminium
CE-Zeichen
Entsprechend den EU-Richtlinien für elektromagnetische Verträglichkeit
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Elektrische Spezifikationen
Spannungsversorgung
Max 5 W
Bürde
0 bis 500 Ω
Isolation
Versorgung, Analogausgang und digitale Schnittstelle sind gegeneinander galvanisch getrennt
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Typische Anwendungen
- Messung der tatsächlichen Waferoberflächentemperatur
Die technischen Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden. Nicht alle Optionen und Zubehörteile sind für alle Modelle und Konfigurationen verfügbar. Die angegebenen Abmessungen beziehen sich im Allgemeinen nur auf Standardkonfigurationen und Modulkörper. Bitte bestätigen Sie die technischen Konfigurationen und Anpassungen mit einem Vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für Fehler oder Auslassungen.
Datenblätter
Broschüren
Bedienungsanleitungen
Support & Services weltweit
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Applikationssupport und -beratung
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