Temperaturmessung

UV 400 und UVR 400

Echte Messung der Oberflächentemperatur und des Reflexionsvermögens von Wafern für GaN-basierte Epitaxie, 650 bis 1300°C

Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen direkt die Waferoberflächentemperatur anstelle der herkömmlichen Suszeptor-/Taschentemperatur.

  • Ein weiter Temperaturbereich (650 bis 1300°C) ermöglicht die Abdeckung sowohl des Hauptpufferwachstums als auch des MQW-Wachstums.
  • Messung der Abscheidungsdicke mit dem zusätzlichen Reflektometer bei 635 nm am UVR 400
  • Einstellbarer Emissionsgrad, Transmissionsgrad und Teilmessbereich
  • Übersicht
  • Technische Daten
  • Dokumente
  • Service & Support

Übersicht

Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen die Oberflächentemperatur des Wafers direkt. Dieses verbesserte Verfahren ermöglicht eine genauere Steuerung der Wafertemperatur, was zu einer verbesserten Ausbeute führt.
 
Das UVR 400 enthält ein zusätzliches Reflektometer bei 635 nm mit einer Messgeschwindigkeit von 0,5 kHz. Damit lässt sich die Messung der Abscheidungsdicke aktivieren.
 
Diese Systeme setzen einen neuen Standard für LED-Produktionsprozesse. Die Ergebnisse zeigen eine zuverlässige Korrelation zwischen Prozesstemperatur und Wellenlänge des Endprodukts.

Vorteile

  • Verbesserte Ausbeute durch genaue Messung der Oberflächentemperatur von Wafern
  • Direkte Temperaturmessung an der GaN-Schicht mit UV-Wellenlängengerät
  • Erfassung der Reflexionsmessung in Echtzeit mit einer schnell pulsierenden Lichtquelle
  • Vermeidung von Rückstandstemperaturschwankungen, die bei NIR-Pyrometern mit Emissionsgradkompensation auftreten
  • Vermeidung schiefer Daten aufgrund einer verzögerten Probenahme (kein Ein- und Ausschalten des Auslösesignals)

Leistungsmerkmale

  • Zuverlässige Wafer-Temperatur mit PL-Wellenlängen-Korrelation
  • Analogausgang und RS485-Schnittstelle mit UPP-Protokoll
  • Einstellbarer Teilmessbereich innerhalb des Temperaturbereichs
  • Gerät widersteht Stickstoffatmosphäre und Vakuum (< 10 mbar)
  • Komplettlösung zur Kontrolle der Reaktortemperatur bei Verwendung mit dem PhotriX-Pyrometer mit konzentrischem Lichtleiter

Ausgewählte Spezifikationen werden unten angezeigt. Weitere Spezifikationen finden Sie im Produktdatenblatt.

  • Temperaturbereich

    UV 400 and UVR 400

    650 bis 1300°C
    Der Teilmessbereich ist beliebig einstellbar innerhalb des Grundmessbereichs mit einem Mindestmessbereichsumfang von 51°C

  • Messung

    Spektralbereich

    383 bis 410 nm (10% der Werte)

    Messunsicherheit

    < 1000°C: 3°C
    > 1000°C: 0,3% vom Messwert
    Bei ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C
    Das Pyrometer muss 30 Minuten in Betrieb sein, bevor diese Werte gültig sind.

    Wiederholbarkeit

    0.1% oder + 0.1°C
    Bei ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C

    Erfassungszeit t90

    Integrationszeit: Mindestens 8 ms

    Emissionsgrad ε

    0,100 bis 1,000 in Schritten von 1/1000

    Transmissionsgrad τ

    0,100 bis 1,000 in Schritten von 1/1000

  • Optik

    Optik

    Feste Optiken

    Distanzverhältnis

    Mindestens 8:1 (9,8 mm)

  • Schnittstellen und Kommunikation

    Anschluss

    M12-Steckverbinder (8-polig) für die Spannungsversorgung, RS485 und Analogausgang der Messtemperatur
    M12-Stecker (4-polig) für den Analogausgang der Remissionsmessung

    Parameter

    Über Schnittstelle veränderbar: Emissionsgrad ε, Transmissionsgrad τ, Einstellzeit t90, Löschzeit tcl, Analogausgang 0 bis 20 oder 4 bis 20 mA (umschaltbar), Teilbereich RS485: Adresse, Baudrate, Wartezeit tW

    Ablesbar über Schnittstelle: Interne Detektortemperatur in 0,1 ° C

    Analogausgang

    0 bis 20 mA oder 4 bis 20 mA, linear (einstellbar über die digitale Schnittstelle)

    Digital-Schnittstelle

    RS485 adressierbar (halbduplex)
    Baudrate 1200 bis 38400

  • Umgebungsbedingungen

    Schutzart

    IP 40 IEC 60529

    Vakuum- und Gasbedingungen

    Das Gerät hält einer Stickstoffatmosphäre und einem Vakuum (<10 mbar) stand. Das Gehäuse hat eine Luftöffnung.

    Betriebsposition

    Beliebig

    Umgebungstemperatur

    10 bis 38°C am Gehäuse

    Lagertemperatur

    -20 bis 50°C

    Zulässige Luftfeuchtigkeit

    Keine kondensierenden Bedingungen

    Gewicht

    2,5 kg (Messinstrument ohne Adapter)

    Gehäuse

    Schwarz eloxiertes Aluminium

    CE-Zeichen

    Entsprechend den EU-Richtlinien für elektromagnetische Verträglichkeit

  • Elektrische Spezifikationen

    Spannungsversorgung

    Max 5 W

    Bürde

    0 bis 500 Ω

    Isolation

    Versorgung, Analogausgang und digitale Schnittstelle sind gegeneinander galvanisch getrennt

  • Typische Anwendungen

    • Messung der tatsächlichen Waferoberflächentemperatur

Die technischen Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden. Nicht alle Optionen und Zubehörteile sind für alle Modelle und Konfigurationen verfügbar. Die angegebenen Abmessungen beziehen sich im Allgemeinen nur auf Standardkonfigurationen und Modulkörper. Bitte bestätigen Sie die technischen Konfigurationen und Anpassungen mit einem Vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für Fehler oder Auslassungen.

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