Temperature Measurement Products

Sekidenko OR400T

Kompaktes Einkanal-Glasfaserthermometer für Halbleiter-Großserienanwendungen

Das Sekidenko OR400T-Glasfaserthermometer bietet präzise, kontaktlose Temperatur- und Emissionsmessungen in einer kompakten, modularen Bauform.

  • Konfigurierbare Wellenlänge je nach Materialtyp und erforderlichem Temperaturbereich
  • Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung über entfernte optische Sensoren mit Linse oder Saphir-Lichtleiter
  • Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation mit optionalen Feldbus-Protokollen für geschlossene Regelkreise
  • Übersicht
  • Technische Daten
  • Dokumente
  • Service & Support

Übersicht

Das Sekidenko OR400T ist ein Einkanal-Glasfaserthermometer zur berührungslosen Temperaturmessung. Es erfasst das von einem Messobjekt ausgesandte Infrarot-Licht und konvertiert es mittels Temperaturmessung in brauchbare Messdaten (°F oder °C). Das Sekidenko OR400T kann je nach Zielmaterial, Prozesstemperaturbereich und Messabstand in verschiedenen Messwellenlängen von 100 bis 3000 mm konfiguriert werden. Die verfügbaren Temperaturbereiche sind: 50 bis 1600°C.

Vorteile

  • Genauere Temperaturmessung bei kritischen Prozessen
  • Verbesserte Wiederholbarkeit und minimale Abweichungen
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und Durchsatzleistung
  • Erhöhte Stabilität und Zuverlässigkeit bei vielen Kammern und Substratmaterialien
  • Erfüllung besonderer funktioneller und mechanischer Anforderungen

Leistungsmerkmale

  • Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung über optische Sensoren mit Linse oder Saphir-Lichtleitersensoren
  • Branchenführende Temperatur- und Emissionslesegeschwindigkeit
  • Hochflexible Plattformarchitektur auf Modulbasis
  • Vollständiges E/A- und Steuerungsset einschließlich externem Auslösereingang und Synchronisationsausgang
  • Mehrkanal-Funktionalität und Lesegeschwindigkeiten bis zu 2 kHz
  • Kanalkonfiguration

    Einkanalige Temperaturmessung mit auswählbare/feste Emissivität

  • Temperaturbereich

    50 bis 3500°C

  • Filterbereich

    600 bis 1600 nm

  • Lesegeschwindigkeit

    Temperaturleserate bis zu 20 Hz

  • Genauigkeit

    ±1,5°C

Die technischen daten können ohne vorherige ankündigung geändert werden. Nicht alle optionen und zubehörteile sind für alle modelle und konfigurationen verfügbar. Die angegebenen abmessungen beziehen sich im allgemeinen nur auf standardkonfigurationen und modulkörper. Bitte bestätigen sie die technischen spezifikationen und snpassungen mit einem vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für fehler oder auslassungen.

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