Temperature Measurement Products

Sekidenko OR400M

Einkanal-Temperaturmessung mit wählbaren/fest eingestellten Emissionsgraden

Das Sekidenko OR400M bietet die präzise Temperaturmessung, die Halbleiter-Anwendungen mit längeren Wellenlängen erfordern.

  • Konfigurierbare Wellenlänge je nach Materialtyp und erforderlichem Temperaturbereich
  • Integrierter optischer Sensor
  • Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation mit optionalen Feldbus-Protokollen für geschlossene Regelkreise
  • Übersicht
  • Technische Daten
  • Dokumente
  • Service & Support

Übersicht

Das optische Pyrometer OR400M von Advanced Energy erweitert die Flexibilität innerhalb der Sekidenko-Produktfamilie mit der berührungslosen Temperaturmessung im Bereich der mittleren IR-Wellenlängen von 3,3 µm bis 5,2 µm. Das OR400M bietet die Möglichkeit zur Einkanal-Temperaturmessung bei Dünnfilm-, Glas- und anspruchsvollen Halbleiter-Prozessen. Es unterstützt sowohl RS-232- als auch analoge Datenschnittstellen. Dank der kompakten Bauweise erfüllt das OR400M die Anforderungen an einen geringen Platzbedarf, die viele Prozessanwendungen auferlegen.

Vorteile

  • Verbesserte Temperaturmessung bei kritischen Prozessen
  • Verbesserte Wiederholbarkeit und minimale Abweichungen
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und Durchsatzleistung
  • Erhöhte Stabilität und Zuverlässigkeit bei vielen Kammern und Substratmaterialien

Leistungsmerkmale

  • Berührungslose Temperaturmessung durch optische Sensoren mit Linse
  • Automatische Korrektur der Umgebungstemperatur
  • Branchenführende Temperatur- und Emissionslesegeschwindigkeit
  • Hochflexible Plattformarchitektur auf Modulbasis
  • Vollständiges E/A- und Steuerungsset einschließlich externem Auslösereingang und Synchronisationsausgang
  • Kanalkonfiguration

    Einkanalige Temperaturmessung mit auswählbare/feste Emissivität

  • Temperaturbereich

    50 bis 1300°C

  • Messung der Wellenlänge

    3,3 bis 5,2 µm, kundenspezifische Wellenlängen sind auf Anfrage erhältlich

  • Lesegeschwindigkeit

    Bis zu 250 Hz

  • Genauigkeit

    ±3°C

Die technischen daten können ohne vorherige ankündigung geändert werden. Nicht alle optionen und zubehörteile sind für alle modelle und konfigurationen verfügbar. Die angegebenen abmessungen beziehen sich im allgemeinen nur auf standardkonfigurationen und modulkörper. Bitte bestätigen sie die technischen spezifikationen und snpassungen mit einem vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für fehler oder auslassungen.

Support & Services weltweit

Maximieren Sie die Herstellungsproduktivität und den Return on Investment für Ihre Anlagen mit unserem Weltklasse-Support, der Sie in jeder Phase des Produktlebenszyklus von der Inbetriebnahme bis hin zum Langzeitbetrieb unterstützt. Unser Dienstleistungsangebot stützt sich auf mehr als drei Jahrzehnte Erfahrung in präzisen Energietechnologien und Anwendungen.

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Applikationssupport und -beratung

Beschleunigen Sie Tool-Installationen und Prozessentwicklungsprogramme oder lösen Sie spezifische Anwendungsprobleme mit Hilfe der dedizierten Anwendungsberater und technischen Experten von Advanced Energy. Profitieren Sie von unseren Prüfungen, Analysen und Beratungen vor Ort.

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Garantiebedingungen

Reduzieren Sie die Variabilität Ihrer Wartungskosten und erhalten Sie zusätzlichen Kostenschutz. Advanced Energy bietet erweiterte Komplettgarantien.

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