Temperature Measurement Products

Sekidenko MXE

Optisches Hochgeschwindigkeits-Pyrometer zur berührungslosen Temperaturmessung mit integrierter Reflexionsmessung und Emissionsausgleich

Das Sekidenko MXE Pyrometer von Advanced Energy misst Temperaturen bei extrem hohen Geschwindigkeiten (bis zu 10 kHz). Es vereint die Temperatur- und aktive Reflexionsmessung in einem Gerät und ermöglicht somit die präzise Kontrolle in dynamischen Prozessen.

  • Geschlossene Regelkreise durch präzise Temperaturmessungen
  • Konfigurierbare Wellenlänge je nach Materialtyp und erforderlichem Temperaturbereich
  • Sowohl analoge als auch digitale Kommunikation
  • Übersicht
  • Technische Daten
  • Dokumente
  • Service & Support

Übersicht

Das Sekidenko MXE Pyrometer kombiniert Geschwindigkeit und Präzision und ermöglicht damit eine genaue, berührungslose und wiederholbare Messung und Regelung von anspruchsvollen Anwendungen. Die hohe Geschwindigkeit (bis zu 10 kHz) ist ideal für Prozesse mit beweglichen Zielobjekten, wie beispielsweise rotierenden Suszeptoren. Es eignet sich auch optimal für dynamische Prozesse, einschließlich laserbasierter Prozesse oder Kurzzeittemperverfahren. Das äußerst kompakte Gerät lässt sich leicht integrieren und unterstützt dank seiner flexiblen Kontrolloptionen eine Vielzahl von I/O-Protokollen.

Vorteile

  • Genauere Temperaturmessung bei kritischen Prozessen
  • Verbesserte Wiederholbarkeit und minimale Abweichungen
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und Durchsatzleistung
  • Erhöhte Stabilität und Zuverlässigkeit bei vielen Kammern und Substratmaterialien

Leistungsmerkmale

  • Berührungslose In-situ-Temperatur- und Emissionsmessung
  • Hochgeschwindigkeits-Messung für eine Vielzahl von unterschiedlichen Anwendungen
  • Verschiedene Temperaturen und Reflexionsgrade der Wellenlängen
  • EtherCAT®-, USB- und RS-232-Ausgänge
  • Konfiguration

    • Nur Temperatur
    • Temperatur + Reflexion
    • Nur Reflexion
  • Temperaturbereich

    Abhänging von der Anwendung

  • Lesegeschwindigkeit

    Bis zu 10 kHz

  • Genauigkeit

    ±1,5°C, typisch

  • Wiederholbarkeit

    ±0,1°C, typisch

  • Auflösung

    0,001°C

  • Genauigkeit der Reflexion

    ±1 %

  • Wiederholbarkeit der Reflexion

    ±0,5 %

  • Arbeitsabstandsbereich

    • 100 bis 450 mm
    • Größe des Messfeldes entspricht 2 bis 8 mm
  • Leistungsanforderungen

    • AC: 90 bis 263 VAC
    • 47 bis 63 Hz DC: +24 VDC

Die technischen daten können ohne vorherige ankündigung geändert werden. Nicht alle optionen und zubehörteile sind für alle modelle und konfigurationen verfügbar. Die angegebenen abmessungen beziehen sich im allgemeinen nur auf standardkonfigurationen und modulkörper. Bitte bestätigen sie die technischen spezifikationen und snpassungen mit einem vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für fehler oder auslassungen.

Support & Services weltweit

Maximieren Sie die Herstellungsproduktivität und den Return on Investment für Ihre Anlagen mit unserem Weltklasse-Support, der Sie in jeder Phase des Produktlebenszyklus von der Inbetriebnahme bis hin zum Langzeitbetrieb unterstützt. Unser Dienstleistungsangebot stützt sich auf mehr als drei Jahrzehnte Erfahrung in präzisen Energietechnologien und Anwendungen.

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Applikationssupport und -beratung

Beschleunigen Sie Tool-Installationen und Prozessentwicklungsprogramme oder lösen Sie spezifische Anwendungsprobleme mit Hilfe der dedizierten Anwendungsberater und technischen Experten von Advanced Energy. Profitieren Sie von unseren Prüfungen, Analysen und Beratungen vor Ort.

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Garantiebedingungen

Reduzieren Sie die Variabilität Ihrer Wartungskosten und erhalten Sie zusätzlichen Kostenschutz. Advanced Energy bietet erweiterte Komplettgarantien.

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