Temperaturmessung

Luxtron m920 Serie

Faseroptische Temperatursensoren für OEMs zwischen -100 und 330ºC

Die Luxtron-Vierkanal-Halbleitermodule m924 und m922 von Advanced Energy wurden für Ätz- und Wafer-Herstellungsanlagen entwickelt, um die Temperatur von elektrostatischen Spannfuttern, Kammern und anderen Geräten zu überwachen.
  • Individuell zusammenstellbare „Mix-and-Match“-Komponenten
  • Kompatibel mit aktuellen Luxtron Fluoroptic-Sonden und faseroptischen Verlängerungen
  • Auf die kundenspezifischen Sonden von Advanced Energy abgestimmte integrierte Kalibrierungstabellen gewährleisten hohe Messgenauigkeit
  • Messgenauigkeit von bis zu ±0,05°C (je nach Sonde)

 

  • Übersicht
  • Technische Daten
  • Dokumente
  • Zubehör
  • Service & Support

Übersicht

Die gesamte OEM-Lösung der Luxtron® m920-Serie basiert auf der Elektronikmodulbaugruppe mit zwei Platinen und Sonden. Die Hauptplatine weist Glasfaser-Temperaturmesskanäle, einen digitalen Ausgang (RS232 ASCII und RS485 Modbus) und einen Stromanschluss auf. Die Analogausgangskarte liefert 0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA und ist über der Hauptkarte montiert. Ein optionales Metallgehäuse ist ebenfalls erhältlich.
 
Das System der Serie m920 verwendet die Fluoroptic®-Technologie. Die Hauptplatine der Serie m920 bereitet das Messsignal von Fluoroptic-Sonden auf und meldet eine kalibrierte Temperatur an das OEM-Steuerungssystem.

Vorteile

  • Hohe Genauigkeit und hohe Temperaturbereiche für verschiedene Ätz- und Waferprozesse
  • Überwachung schnellerer Rampenbedingungen mit einem schnellen Messintervall
  • Bessere Temperaturmessungen mit geräuscharmer Lösung
  • Hohe Zuverlässigkeit und niedrige Ausfallraten
  • Unterstützt die kundenspezifische Integration und Sondenkonstruktionen weltweit

Leistungsmerkmale

  • Zwei oder vier Kanäle, erweiterbar auf 64 mit RS485 Modbus
  • Eine einzige Leiterplatte mit Optionen für einen Analogausgang und ein Metallgehäuse
  • Sonden, die unempfindlich gegen elektromagnetische Störungen wie Hochspannungen, RF, Plasmen und Mikrowellen sind
  • Abwärtskompatibel mit gefederten und Accudisc-Sonden von Advanced Energy
  • Kundenspezifische Sonden für Halbleiter-Anwendungen verfügbar

Lösungen

  • Leistung

    Kanäle

    m922: 2
    m924: 4

    Temperaturbereich

    -100 bis 330°C (abhängig von der Sonde)

    Messauflösung

    0,01°C

    Messrate

    Bis zu 50 Hz je Kanal

    Genauigkeit

    ±0,05°C (abhängig von der Sonde)

  • Umgebungsbedingungen

    Betriebstemperatur

    -40 bis 85°C

    H x B x T

    23,7 x 100,6 x 134,4 mm (Hauptplatine)

    Gehäuse

    Metallgehäuse für elektromagnetische Abschirmung (optionales Zubehör)

  • Kommunikation

    Anlogausgang

    0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA

    Serieller Ausgang

    RS232 und RS485

    Protokoll

    ASCII und Modbus (RS485)

  • Elektrische Spezifikationen

    Eingangsspannung

    +5 bis 24 VDC nominal bei 100 mA

  • Typische Anwendungen

    • Überwachung elektrostatischer Plasma-Ätzspannplatten
    • Überwachung von Plasmaduschen in der Kammer
    • Temperaturüberwachung außerhalb der Kammer
    • Überwachung der Temperater der Geräte zur Waferherstellung
    • Halbleiter- und FPD-Verarbeitung unter Verwendung von RF und Plasma

Die technischen Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden. Nicht alle Optionen und Zubehörteile sind für alle Modelle und Konfigurationen verfügbar. Die angegebenen Abmessungen beziehen sich im Allgemeinen nur auf Standardkonfigurationen und Modulkörper. Bitte bestätigen Sie die technischen Konfigurationen und Anpassungen mit einem Vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für Fehler oder Auslassungen.

Zubehör

Faseroptische Sonden

Patentierte Fluoroptic-Sonden, die chemisch resistent und unempfindlich gegen elektromagnetische Störungen sind

Support & Services weltweit

Maximieren Sie die Herstellungsproduktivität und den Return on Investment für Ihre Anlagen mit unserem Weltklasse-Support, der Sie in jeder Phase des Produktlebenszyklus von der Inbetriebnahme bis hin zum Langzeitbetrieb unterstützt. Unser Dienstleistungsangebot stützt sich auf mehr als drei Jahrzehnte Erfahrung in präzisen Energietechnologien und Anwendungen.

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Applikationssupport und -beratung

Beschleunigen Sie Tool-Installationen und Prozessentwicklungsprogramme oder lösen Sie spezifische Anwendungsprobleme mit Hilfe der dedizierten Anwendungsberater und technischen Experten von Advanced Energy. Profitieren Sie von unseren Prüfungen, Analysen und Beratungen vor Ort.

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Garantiebedingungen

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Kontakt

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Sie können jetzt auf jede Ressource der Advanced Energy Webseite zugreifen. Klicken Sie auf die Schaltfläche unten, um die angeforderten Dokumente anzuzeigen.

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