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Temperaturmessung
Luxtron m920 Serie
Faseroptische Temperatursensoren für OEMs zwischen -100 und 330ºC
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- Service & Support
Übersicht
Die gesamte OEM-Lösung der Luxtron® m920-Serie basiert auf der Elektronikmodulbaugruppe mit zwei Platinen und Sonden. Die Hauptplatine weist Glasfaser-Temperaturmesskanäle, einen digitalen Ausgang (RS232 ASCII und RS485 Modbus) und einen Stromanschluss auf. Die Analogausgangskarte liefert 0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA und ist über der Hauptkarte montiert. Ein optionales Metallgehäuse ist ebenfalls erhältlich.
Das System der Serie m920 verwendet die Fluoroptic®-Technologie. Die Hauptplatine der Serie m920 bereitet das Messsignal von Fluoroptic-Sonden auf und meldet eine kalibrierte Temperatur an das OEM-Steuerungssystem.
Vorteile
- Hohe Genauigkeit und hohe Temperaturbereiche für verschiedene Ätz- und Waferprozesse
- Überwachung schnellerer Rampenbedingungen mit einem schnellen Messintervall
- Bessere Temperaturmessungen mit geräuscharmer Lösung
- Hohe Zuverlässigkeit und niedrige Ausfallraten
- Unterstützt die kundenspezifische Integration und Sondenkonstruktionen weltweit
Leistungsmerkmale
- Zwei oder vier Kanäle, erweiterbar auf 64 mit RS485 Modbus
- Eine einzige Leiterplatte mit Optionen für einen Analogausgang und ein Metallgehäuse
- Sonden, die unempfindlich gegen elektromagnetische Störungen wie Hochspannungen, RF, Plasmen und Mikrowellen sind
- Abwärtskompatibel mit gefederten und Accudisc-Sonden von Advanced Energy
- Kundenspezifische Sonden für Halbleiter-Anwendungen verfügbar
Lösungen
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Leistung
Kanäle
m922: 2
m924: 4Temperaturbereich
-100 bis 330°C (abhängig von der Sonde)
Messauflösung
0,01°C
Messrate
Bis zu 50 Hz je Kanal
Genauigkeit
±0,05°C (abhängig von der Sonde)
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Umgebungsbedingungen
Betriebstemperatur
-40 bis 85°C
H x B x T
23,7 x 100,6 x 134,4 mm (Hauptplatine)
Gehäuse
Metallgehäuse für elektromagnetische Abschirmung (optionales Zubehör)
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Kommunikation
Anlogausgang
0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA
Serieller Ausgang
RS232 und RS485
Protokoll
ASCII und Modbus (RS485)
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Elektrische Spezifikationen
Eingangsspannung
+5 bis 24 VDC nominal bei 100 mA
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Typische Anwendungen
- Überwachung elektrostatischer Plasma-Ätzspannplatten
- Überwachung von Plasmaduschen in der Kammer
- Temperaturüberwachung außerhalb der Kammer
- Überwachung der Temperater der Geräte zur Waferherstellung
- Halbleiter- und FPD-Verarbeitung unter Verwendung von RF und Plasma
Die technischen Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden. Nicht alle Optionen und Zubehörteile sind für alle Modelle und Konfigurationen verfügbar. Die angegebenen Abmessungen beziehen sich im Allgemeinen nur auf Standardkonfigurationen und Modulkörper. Bitte bestätigen Sie die technischen Konfigurationen und Anpassungen mit einem Vertriebsmitarbeiter. Advanced Energy haftet nicht für Fehler oder Auslassungen.
Applikationshinweise
Zubehör
Dokumente & Support
Alle Luxtron m920 Serie Zubehörartikel anzeigenSupport & Services weltweit
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